X射线荧光光谱仪是基于X射线的一种分析手段，当一束高能粒子与原子相互作用时，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能，将该轨道电子逐出，形成一个空穴使原子处于激发态，由于激发态不稳定，外层电子向空穴跃迁使原子恢复到平衡态，跃迁时释放出的能量以辐射的形式放出便产生X荧光。

　　X荧光具有特征的波长，对应的即是特征的能量，通过对光子的特征波长进行辨识，XRF能实现对元素的定性分析，通过探测特征波长的X射线光子的强度，实现元素的定量和半定量分析。

　　X射线荧光光谱仪的测试步骤如下：

　　1、选择分析方法与制样方法。分析方法一般有基本参数法、半基本参数法、经验系数法等，制样方法一般有抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，本司常用粉末压片法制样，采用基本参数法测试。

　　2、将制备好的样片装进样品杯，放入样品交换器中，自动进样至样品室，X射线管发出原级X射线照射样品，激发出待测元素的荧光X射线。

　　3、样品辐射出的荧光X射线通过分光晶体，将X射线荧光光谱色散成孤立的单色分析线，由探测器测量各谱线的强度，根据选用的分析方法换算成元素浓度，得到样品中待测元素含量。

　　X射线荧光光谱仪的工作原理是由X光管发射的原级X射线入射到样品上 ，样品元素受激发射出荧光X射线，并与原级X射线的散射线一起，通过准直器(索勒狭缝)，以平行方式投射到晶体表面，按布拉格条件发生衍射，衍射的X射线与晶体散射线一起。

　　并通过次级准直器（称探测器准直器）进入探测器，进行光电转换，把不可直接测量的光子转变成为可以测量的电信号脉冲。探测器的输出脉冲经放大器幅度放大和脉冲高度分析器的幅度甄别后，即可通过定标器和进行测量由计算机进行数据处理，输出结果。