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膜厚测试仪xray

简要描述:

膜厚测试仪x-ray是一款无损、快速测厚仪器,主要针对金属镀层厚度进行分析,天瑞仪器是国内测试仪x-ray品牌产品生产厂家,分析仪器上市(股票代码:300165)公司。
膜厚测试仪xray

产品介绍

 

膜厚测试仪x-ray是一款无损、快速测厚仪器,主要针对金属镀层厚度进行分析,天瑞仪器是国内膜厚测试仪x-ray品牌产品生产厂家,分析仪器上市(股票代码:300165)公司。

 

应用优势

 

1.无损、、快速测量各种电镀层的厚度.

2.电镀层可以是单层/双层/三层

3.镀金/镀银/镀镍/镀铜等都可以测量

4.有电镀液成份分析以及金属成份分析等软件

5.易操作/易维护

6.准直器程控交换系统 多可同时装配6种规格的准直器,程序交换控制

 

技术指标

 

分析元素范围:硫(S)~铀(U)

同时检测元素:多24个元素,多达5层镀层

分析含量:一般为2ppm到99.9%

镀层厚度:一般在50μm以内(每种材料有所不同)

SDD探测器:分辨率低至135eV

先进的微孔准直技术:小孔径达0.1mm,小光斑达0.1mm

样品观察:配备全景和局部两个工业高清摄像头

准直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合

仪器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm

样品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm

样品台尺寸:393(W)x 258 (D)mm

X/Y/Z平台移动速度:额定速度200mm/s 速度333.3mm/s

X/Y/Z平台重复定位精度:小于0.1um

操作环境湿度:≤90%

操作环境温度:15℃~30℃

 

性能优势

 

1.精密的三维移动平台

2.卓越的样品观测系统

3.先进的图像识别

4.轻松实现深槽样品的检测

5.四种微孔聚焦准直器,自动切换

6.双重保护措施,实现无缝防撞

7.采用大面积高分辨率探测器,有效降低检出限,提高测试精度

 

全自动智能控制方式,一键式操作!

开机自动自检、复位;

开盖自动退出样品台,升起Z轴测试平台,方便放样;

关盖推进样品台,下降Z轴测试平台并自动完成对焦;

直接点击全景或局部景图像选取测试点;

点击软件界面测试按钮,自动完成测试并显示结果。

 

工作原理

 

  若一个电子由轨道游离,则其他能阶的电子会自然的跳至他的位置,以达到稳定的状态,此种不同能阶转换的过程可释放出能量,即X-射线。因为各元素的每一个原子的能阶均不同,所以每一元素轨道间的能阶差也不同相同。

下述可描述X-射线荧光(x-ray)的特性:若产生X-射线荧光是由于转移一个电子进入K 轨道,一个K轨道上的电子已事先被游离,另一个电子即代替他的地位,此称之为K 辐射。不同的能阶转换出不同的能量,如Kα辐射是电子由L轨道跳至K轨道的一种辐射,而Kβ辐射是电子从M 轨道跳至K轨道的一种辐射,其间是有区别的。若X-射线荧光是一个电子跳入L的空轨域,此种辐射称为L辐射。同样的L 辐射可划分为Lα 辐射,此是由M轨道之电子跳入L轨道及Lβ 辐射,此是由N 轨道之电子跳入L 轨道中。由于Kβ辐射能量约为Kα的11%,而Lβ辐射能量较Lα大约20%,所以以能量的观点Lα及Lβ是很容易区分的。

原子的特性由原子序来决定,亦即质子的数目或轨道中电子的数目,即如图所示特定的X-射线能量与原子序间的关系。K辐射较L辐射能量高很多,而不同的原子序也会造成不同的能量差。

  特定的X-射线可由比例计数器来侦测。当辐射撞击在比例器后,即转换为近几年的脉波。电路输出脉冲高度与能量撞击大小成正比。由特殊物质所发出的X-射线可由其后的鉴别电路记录。

  使用X-射线荧光原理测厚,将被测物置于仪器中,使待测部位受到X-射线的照射。此时,特定X-射线将由镀膜、素材及任何中间层膜产生,而检测系统将其转换为成比例的电信号,且由仪器记录下来,测量X-射线的强度可得到镀膜的厚度。

  在有些情况,如:印刷线路板上的IC导线,接触针及导体的零件等测量要求较高 ,一般而言,测量镀膜厚度基本上需符合下述的要求:

1.不破坏的测量下具高精密度。

2.极小的测定面积。

3.中间镀膜及素材的成份对测量值不产生影响。

4.同时且互不干扰的测量上层及中间镀膜 。

5.同时测量双合金的镀膜厚及成份。

而膜厚测试仪,x-ray法就可在不受素材及不同中间膜的影响下得到高精密度的测量。

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