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全自动微区膜厚测试仪天瑞仪器

产品简介

产品说明、技术参数及配置
EDX2000A能量色散X荧光光谱仪(全自动微区膜厚测试仪)对平面、凹凸、拐角、弧面等各种简单及复杂形态的样品进行快速对焦精准分析,满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动,双激光定位和保护系统。

产品型号:EDX 2000A
更新时间:2025-05-16
厂商性质:生产厂家
访问量:108
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品牌SKYRAY/天瑞仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域环保,能源,电子/电池,电气,综合
天瑞仪器 EDX 2000A 是一款全自动微区膜厚测试仪,以下是其详细介绍1

特点及优势

  • 上照式设计:可适应更多异型微小样品的测试,如半导体、芯片及 PCB 等行业的非接触微区镀层厚度测试。

  • 信号采集高效:全新光路,更短光程,相较传统光路,信号采集效率提升 2 倍以上。

  • 摄像头配置优良:可变焦高精摄像头搭配距离补正系统,能兼顾微小产品以及台阶、深槽、沉孔样品的测试需求。

  • 测试高效:可编程多点测试,能自动完成对多个样品多个点的测试,大大提高测样效率。还自带数据校对系统,让用户无需担心数据突然变化。

  • 硬件配置高:采用进口高分辨率的 FAST SDD 探测器,分辨率高达 140eV,能精准解析每个元素的特征信号,对复杂底材以及多层复杂镀层优势明显。进口的高功率大高压单元搭配进口大功率 X 光管,保障信号输出与激发的稳定性,降低故障率。高精度自动化的 X 轴、Y 轴以及 Z 轴三维联动,可快速完成对微小异型测试点的定位。

  • 软件界面人性化:人性化软件界面,操作便捷。曲线有中文备注,易于上手。还能实时监控仪器硬件功能,让使用更放心。

测试指标

  • 元素分析范围:从钾(K)到铀(U)。

  • 元素与镀层分析能力:一次可同时分析最多 24 个元素,5 层镀层。

  • 镀层厚度范围:0.005μm—50μm。

  • 测量重复性:多次测量重复性可达 2%。

  • 长期工作稳定度:为 3%。

应用领域

适用于金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量,电镀液成分测试,合金镀层成分及厚度分析,以及首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析,广泛应用于电子通讯、航天新能源、电器设备、汽车制造、磁性材料、贵金属电镀、高校及科研所等领域。

标准配置

包括开放式样品腔、推拉式屏蔽罩、SDD 探测器、信号检测电子电路、探测器保护传感器、计算机及喷墨打印机、精密二维移动样品平台、大行程升降测试框。

仪器参数

  • 尺寸:485(W)×588(D)×505(H)mm。

  • 重量:60kg。

  • X 射线源:X 射线管电压 5 - 50KV 可调,电流 50 - 1mA 可调,制冷方式为密闭型风冷。

  • 准直系统:标配¢0.2mm(可根据要求选配)。

  • 滤光片:Al 滤光片(可根据要求选配)。

  • 样品观测配置:样品照明为 LED 灯上方垂直照射,观察采用彩色 CCD 摄像头,倍率 25 倍,视野 6×4.8mm。

  • 自动对焦功能:高度激光自动对焦。

  • 电动 XY 高精度移动平台:移动范围 100mm(X),100mm(Y),分辨率 5μm,重复定位精度<10μm,步进电机步距角 1.8°,载重量 3kg(无倾斜)。

  • Z 轴升降平台:升降幅度范围 0 - 140mm。

  • 电源输入:AC220±10%,5A,50/60HZ。


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